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                電子束曝光

                    1. 便攜式AFM
                    2. 小樣品AFM
                    3. 大樣品AFM
                    4. 全自動AFM
                    5. 生物型AFM
                    6. 光誘導力顯微鏡IR/SNOM/TERS
                    7. 掃描熱學顯微鏡
                    8. 掃描微波阻抗顯微鏡
                    9. AFM In-SEM
                    +
                    1. D系列臺階儀
                    2. P系列臺階儀
                    +
                    1. Zeta系列光學輪廓儀
                    2. 白光干涉儀
                    +
                    1. 單點厚度測量
                    2. 微米(顯微)級光斑尺度厚度測量
                    3. 自動厚度測量系統
                    4. 在線厚度測量系統
                    5. 橢偏儀
                    6. 棱鏡耦合儀
                    +
                    1. 表面等離子共振顯微鏡
                    2. 表面等離子共振儀
                    +
                  1. +
                  2. +
                  +
                  1. +
                    1. 納米拉伸儀
                    +
                    1. 原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
                    +
                    1. 原位拉伸臺
                    2. In-SEM納米操作機
                    3. In-SEM納米壓痕
                    +
                  2. +
                  +
                  1. +
                    1. 小型研發臺
                    2. 手動探針臺
                    3. 自動探針臺
                    4. 高功率探針臺
                    5. 全自動探針臺
                    +
                    1. 示波器
                    2. 矢量網絡分析儀
                    3. 頻譜分析儀
                    4. 功率分析儀
                    5. 參數分析儀
                    6. 誤碼率測試儀
                    7. 相干光信號分析儀
                    8. 頻率計數器
                    +
                    1. 探針及配件
                    +
                  +
                    1. In-SEM原子力顯微鏡
                    +
                    1. In-SEM納米壓痕
                    2. In-SEM 納米操作機
                    +
                    1. 原位芯片及Holder
                    +
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                  2. +
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                  6. +
                  +
                  1. +
                    1. 等離子清洗機
                    2. 紫外臭氧清洗機
                    +
                    1. 被動隔震臺
                    2. 主動隔震臺
                    +
                    1. 樣品切割
                    2. 鑲嵌
                    3. 研磨拋光
                    +
                    1. 工業/測量顯微鏡
                    2. 視頻顯微鏡
                    3. 金相顯微鏡
                    4. 偏光顯微鏡
                    5. 立體/體視顯微鏡
                    6. USB顯微鏡
                    +
                    1. 干燥箱
                    2. 氮氣柜
                    +
                  +
                    1. AFM探針
                    2. AFM標樣基底
                    +
                    1. 氮化硅薄膜窗口
                    2. Quantifoil多孔載網
                    3. TEM耗材
                    4. SEM耗材
                    5. X-ray耗材
                    +
                    1. GGB探針
                    +
                    1. 光柵模板
                    2. 點陣模板
                    3. 孔狀模板
                    4. 納米壓印膠
                    +
                  1. +
                  +
                • 電子束曝光系統

                  利用電子束在抗蝕劑上書寫納米級圖案,通過ELB設備曝光和顯影,可用于加工sub-10nm的精細結構。

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