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                激光直寫光刻機

                    1. 便攜式AFM
                    2. 小樣品AFM
                    3. 大樣品AFM
                    4. 全自動AFM
                    5. 生物型AFM
                    6. 光誘導力顯微鏡IR/SNOM/TERS
                    7. 掃描熱學顯微鏡
                    8. 掃描微波阻抗顯微鏡
                    9. AFM In-SEM
                    +
                    1. D系列臺階儀
                    2. P系列臺階儀
                    +
                    1. Zeta系列光學輪廓儀
                    2. 白光干涉儀
                    +
                    1. 單點厚度測量
                    2. 微米(顯微)級光斑尺度厚度測量
                    3. 自動厚度測量系統
                    4. 在線厚度測量系統
                    5. 橢偏儀
                    6. 棱鏡耦合儀
                    +
                    1. 表面等離子共振顯微鏡
                    2. 表面等離子共振儀
                    +
                  1. +
                  2. +
                  +
                  1. +
                    1. 納米拉伸儀
                    +
                    1. 原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
                    +
                    1. 原位拉伸臺
                    2. In-SEM納米操作機
                    3. In-SEM納米壓痕
                    +
                  2. +
                  +
                  1. +
                    1. 小型研發臺
                    2. 手動探針臺
                    3. 自動探針臺
                    4. 高功率探針臺
                    5. 全自動探針臺
                    +
                    1. 示波器
                    2. 矢量網絡分析儀
                    3. 頻譜分析儀
                    4. 功率分析儀
                    5. 參數分析儀
                    6. 誤碼率測試儀
                    7. 相干光信號分析儀
                    8. 頻率計數器
                    +
                    1. 探針及配件
                    +
                  +
                    1. In-SEM原子力顯微鏡
                    +
                    1. In-SEM納米壓痕
                    2. In-SEM 納米操作機
                    +
                    1. 原位芯片及Holder
                    +
                  1. +
                  2. +
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                  1. +
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                  4. +
                  5. +
                  6. +
                  +
                  1. +
                    1. 等離子清洗機
                    2. 紫外臭氧清洗機
                    +
                    1. 被動隔震臺
                    2. 主動隔震臺
                    +
                    1. 樣品切割
                    2. 鑲嵌
                    3. 研磨拋光
                    +
                    1. 工業/測量顯微鏡
                    2. 視頻顯微鏡
                    3. 金相顯微鏡
                    4. 偏光顯微鏡
                    5. 立體/體視顯微鏡
                    6. USB顯微鏡
                    +
                    1. 干燥箱
                    2. 氮氣柜
                    +
                  +
                    1. AFM探針
                    2. AFM標樣基底
                    +
                    1. 氮化硅薄膜窗口
                    2. Quantifoil多孔載網
                    3. TEM耗材
                    4. SEM耗材
                    5. X-ray耗材
                    +
                    1. GGB探針
                    +
                    1. 光柵模板
                    2. 點陣模板
                    3. 孔狀模板
                    4. 納米壓印膠
                    +
                  1. +
                  +
                • 多功能無掩膜激光直寫

                  激光直寫、光柵掃描曝光、快速曝光復雜的圖形 、灰度光刻、無掩膜光刻

                • 無掩膜激光直寫

                  利用強度可變的激光束對基片表面的抗蝕材料實施變劑量曝光,顯影后便在抗蝕層表面形成要求的浮雕輪廓。

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