結合垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術的經濟型非接觸式光學輪廓儀

結合相位掃描干涉技術（PSI）和垂直掃描干涉技術(VSI)的非接觸式表面輪廓測試系統。